地 址：大連保稅區海航路9號 核心提示：的高精真空設備和尾氣處理係統製造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H幹泵，新設備經過優(you) 化，適用於(yu) LED製造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體(ti) 製造工藝。
新型iXH645H幹泵在嚴(yan) 苛的製造環境中僅(jin) 需zui少維護並實現正常運行時間zui大化
英國西薩塞克斯郡，克勞雷(2012年7月3日)的高精真空設備和尾氣處理係統製造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H幹泵，新設備經過優(you) 化，適用於(yu) LED製造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體(ti) 製造工藝。請參觀Edwards公司在InterSolar展會(hui) 和SEMICON/West展會(hui) 的5351號展台，以便了解有關(guan) iXH係列的更多信息。上述兩(liang) 個(ge) 展會(hui) 將於(yu) 2012年7月10-12日在美國加利福尼亞(ya) 州舊金山舉(ju) 辦。
iXH645H提供了非常高的氣流量，並能夠在一代LED製造設備所需的高負載下連續工作。iXH係列幹泵采用*的技術，zui大限度地減少了維護需求，並實現正常運行時間zui大化，有助於(yu) 降低成本。
Edwards公司LED市場邵偉(wei) 稱：“iXH係列幹泵的新成員是設計用於(yu) 滿足兩(liang) 個(ge) 快速發展的高技術製造細分市場的需求。由於(yu) 具備出色的照明效率，LED照明產(chan) 品逐漸被視為(wei) 白熾燈照明的環保替代選擇，我們(men) 看到，中國、韓國、日本和英國zui近通過立法，將逐步淘汰傳(chuan) 統的大功率照明產(chan) 品。”
邵偉(wei) 補充道：“同時，在化合物半導體(ti) 製造中使用III-V材料，正在推動摩爾定律(Moore’s Law)延續到下一代設計節點。”
LED和化合物半導體(ti) 製造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。iXH645H業(ye) 已進行設計優(you) 化以滿足這些要求，具有出色的氫氣抽空性能並采用耐腐蝕設計，包括一個(ge) 保護泵密封物的氮氣吹掃屏障（purge barrier）。XH645泵具有高溫工作能力，有助於(yu) 防止可能出現的磷化合物冷凝。另外，該泵*的油潤滑和密封技術省去了定期保養(yang) 需求，同時其散熱和電機設計可以防止出現過熱、電機過載或工作區域受限等問題。iXH645H泵的優(you) 化溫度控製係統確保泵在約30分鍾啟動時間內(nei) 為(wei) 工藝做好準備。
