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真空係統對閥門的要求
更新時間:2015-02-11 點擊次數:2856次
對大多數真空係統來說,真空閥門應具有以下廣泛性的性能。 1、防鏽性 在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防鏽性能。因此廣泛采用鋁合金,銅合金和不鏽鋼來製造真空隔離部件。 2、 工作壓力範圍在0~2.5×105Pa 相對較寬的壓力範圍,會使產品的使用麵更廣泛,而且閥板的密封是雙向的,至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。 3、低漏率 在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利於提高係統的效率,對降低生產成本非常有效。 4、 起動時,震動低,對係統衝擊小。 5、 結構緊湊,重量輕 6、 明顯的閥位指示 7、可選配加裝閥門啟閉信號控製器,便於編程自動化控製。 8、 高流導 9、 采用波紋管作為位移的動密封 無動態漏氣,無油脂汙染,可靠性高,相對橡膠密封,可靠性更高並可以避免產生顆粒汙染。 10,真空部分盡量避免采用真空脂。 11,盡量減少真空部件內的無用空間,以保證真空獲得的時間更少。 12,盡可能的減少功耗 |