地 址：大連保稅區海航路9號 一、企業(ye) 技術底蘊
Staiger GmbH & Co. KG創立於(yu) 1974年，總部位於(yu) 德國巴登-符騰堡州埃爾利格海姆，是精密流體(ti) 控製領域的技術先驅。公司擁有7000平方米現代化生產(chan) 基地，累計獲得250餘(yu) 項國際，其研發體(ti) 係通過ISO 9001:2015和VDI/VDE 3847（工業(ye) 自動化氣動元件）雙重認證。在半導體(ti) 製造與(yu) 精密儀(yi) 表領域，符合SEMI F73（氣體(ti) 控製係統組件）行業(ye) 標準要求。
二、核心參數與(yu) 認證
控製類型：
介質兼容：空氣/氧氣/惰性氣體(ti) （兼容ISO 8573-1 Class 3標準）
結構參數：外徑φ7mm±0.02mm | 流道通徑0.3mm
工作範圍：壓力0-10bar | 介質溫度5-50℃
流量特性：7.5L/min@10bar（空氣，20℃校準）
物理特性：重量4.9g | 防護等級IP65（EN 60529）
三、精密控製原理
1. 電磁驅動係統
采用PWM調製技術，通過16位DAC轉換器實現0.1%級電流控製精度。線圈繞組采用H級絕緣（180℃耐溫），配合釹鐵硼永磁體(ti) ，實現≤5ms的響應速度。
2. 無摩擦閥芯結構
三階式懸浮閥芯設計，通過磁路平衡技術消除機械接觸。特殊氮化矽陶瓷閥座（硬度HV1500）與(yu) 316L不鏽鋼閥針配合，實現＞1億(yi) 次循環壽命（IEC 60534-8標準測試）。
四、技術創新優(you) 勢
1. 靜音技術
葉片彈簧矩陣采用激光切割鎳鈦合金（應變恢複率99.8%），結合網狀阻尼結構，將動作噪音控製在＜35dB(A)（DIN 45635測量標準）。
2. 智能溫控補償(chang)
內(nei) 置NTC溫度傳(chuan) 感器（精度±0.5℃），自動補償(chang) 介質溫度引起的流量漂移，確保全溫域流量控製精度±1%FS。
五、MFC係統集成方案
1. 典型應用配置
- 半導體(ti) 工藝氣體(ti) 控製：匹配MFC量程0-10 SLM
- 分析儀(yi) 器載氣調節：響應時間＜100ms
- 燃料電池供氣模塊：耐受氫氣環境（可選防爆認證）
2. 係統集成要點
建議配合使用，通過CANopen（DS-301協議）或Modbus RTU實現：
- 動態流量閉環控製
- 溫度/壓力複合補償(chang)
- 故障自診斷（8種異常代碼）
已通過TÜV Rheinland功能安全認證（SIL 2等級），其微型化設計特別適合高密度集成的MFC模組，支持航天級振動測試（MIL-STD-810H標準），為(wei) 製造領域提供可靠的流體(ti) 控製解決(jue) 方案。
